شاخص های کارآیی مرکز عبارتند از:
- تعداد مدل های کسب و کاری تهیه شده در مرکز
- تعداد واحد های فناور پذیرش شده در هر دوره
- تعداد شغل های ایجاد شده در کل واحد های فناور مرکز رشد به روش مستقیم
- تعداد شغل های ایجاد شده در کل واحد های فناور مرکز رشد به روش غیرمستقیم
- نرخ بقاء واحد های فناور بعد از سه سال از ایجاد آنها
- تعداد ثبت اختراعات محصول اصلی واحد های فناور
- تعداد محصولات جانبی حاصل از تحقیقات و یا صنعتی سازی در واحد های فناور.