شاخص های پروسه ای فعالیت های مرکز رشد عبارتند از:
- تعداد همایش های برگزار شده جهت تشویق کارآفرینان به ورود به مرکز رشد
- تعداد کارآفرینانی (افرادی) که از طریق این همایش ها با مرکز رشد آشنا و ترغیب به ارسال پرونده و ایجاد واحد فناور شده اند
- تعداد سمینارها و کارگاه های آموزشی
- تعداد پرونده های اولیه جهت پیش رشد
- تعداد واحد های فناور متقاضی ورود به دوران رشد
- تعداد افراد شرکت کننده در سمینار ها و کارگاه های آموزشی
- تعداد واحد های فناور که در ساختمان مراکز رشد دارای مکان می باشند و نسبت آنها با کل واحدهای فناور پذیرفته شده
- تعداد درخواست های ثبت اختراع محصولات واحد های فناور.